铈基抛光液的性能直接影响抛光工件的表面质量，是双面抛光的关键键元素之一。铈基抛光液一般含有超细固体研磨颗粒、表面活性剂、氧化剂和稳定剂，其中固体研磨颗粒具有切割效果，去除需要去除的化学变化，氧化剂产生化学腐蚀和溶解，从而溶解碎片。在抛光过程中，铈基抛光液的类型、形状、尺寸、浓度和化学成分，pH值、粘度、流速和流路都会影响去除率。